Physical Electronics
Physikalische Elektronik
6 LPWiSeDEwird nicht mehr angeboten
Voraussetzungen
Empfohlen, im Wortlaut
Kenntnis des Stoffes der Module • 13304 Struktur der Materie: Atome, Moleküle, Festkörper • 12284 Elektrodynamik
Inhalte
• Bewegung geladener Teilchen in elektromagetischen Feldern • Statistische Beschreibung von Mikrosystemen • Festkörper, Flüssigkeiten, Gase und Plasmen • Transport von Elektronen, Molekülen, Phononen und Photonen • Theorie und Anwendung von Niedertemperaturplasmen • Hochfrequenzplasmen
Lernziele
Die Studierenden kennen die physikalische Natur wichtiger mikroskopischer und makroskopischer Transportphänomene in festkörper- und gaselektronischen Systemen. Sie sind in der Lage, theoretische Modelle zur Beschreibung dieser Systeme zu formulieren und für einfache Fälle zu lösen. Die Studierenden sind vertraut mit den einzigartigen Eigenschaften von Niedertemperaturplasmen und mit ihrer Wechselwirkung mit Oberflächen. Sie verstehen grundlegende physikalische Effekte in Hochfrequenzplasmen und kennen ihre Bedeutung für die Hightechindustrie, z.B bei der Herstellung mikro- und nanoelektronischer Bauelemente und Schaltungen.
Prüfungsleistung
• Mündliche Prüfung, i.d.R. 60 Minuten.
Literatur (7)
- G. Chen, Nanoscale Transport and Conversion (Oxford University Press 2005)
- A. Fridman et al., Plasma Physics and Engineering (CRC Press 2011)
- M. Keidar und I. Beilis, Plasma Engineering (Elsevier 2013)
- M.A. Lieberman und A.J. Lichtenberg, Principles of Plasma Discharges and Materials Processing (Wiley 2005)
- D. Neundorf et al., Elektrophysik (Springer Verlag 1997)
- G. Mierdel, Elektrophysik (VEB Verlag Technik 1970)
- K. Simonyi, Physikalische Elektronik (Springer Verlag 1972)
Bemerkungen
• Studiengang Elektrotechnik M.Sc.: Wahlpflichtmodul in den Studienrichtungen "Mikroelektronik und Mikrowellentechnik" und "Informationstechnik und Medientechnik". Bei Bedarf in englischer Sprache.
Quelle: Modulbeschreibung der BTU · abgerufen 17.10.2026Original