Micro Systems
Mikrosystemtechnik
6 LPWiSeDEwird nicht mehr angeboten
Voraussetzungen
Empfohlen, im Wortlaut
Kenntnisse der Festkörperphysik im Rahmen eines Bachelor-Studiengangs Physik
Inhalte
• Einführung in die Siliziumtechnologie: Materialien, Schichtabscheidung und -strukturierung, Oberflächen- und Volumenmikromechanik, Überblick zur Anlagentechnik • Physikalische Wirkprinzipien: Grundlegende physikalische Wirkprinzipien anhand von einfachen Sensoren und Aktoren (z. B. elektrostatische, piezoelektrische, magnetische Effekte) • Entwurf komplexer Sensoren und Aktoren: Überblick zu Systematik und Methodik, einfache Simulationsbeispiele für die Berechnung dynamischer Eigenschaften von MEMS-Sensoren • Funktionen und Eigenschaften komplexer Sensoren und Aktoren: z. B. Lichtmodulatoren, Beschleunigungssensoren, Gyroskope, Scannerspiegel
Lernziele
Die Studierenden beherrschen die Grundlagen der siliziumbasierten Mikrosystemtechnik. Am Beispiel der Thematik des Moduls werden die Methoden des Erkenntnisgewinns und deren exemplarischer Anwendung aufgezeigt. Darüber hinaus werden bei den Studierenden Sozialkompetenzen wie Kooperationsfähigkeit, sowie weitere individuelle Kompetenzen wie Sorgfalt, Ausdauer, Neugierde, Eigeninitiative, Frustrationstoleranz etc. gefördert.
Prüfungsleistung
Voraussetzung für die Modulabschlussprüfung: • erfolgreiches Halten eines Referats (mit schriftlicher Ausarbeitung)Modulabschlussprüfung: • Klausur, 90 min.
Literatur (2)
- M. Madou, "Fundamentals of Microfabrication„, CRC Press , Boca Raton-NewYork (2002)
- Gianchandani, Yogesh B.; Tabata, Osamu; Zappe, Hans P.: „Comprehensive Microsystems“, Vol. 1-3, Elsevier, Amsterdam (2008)
Bemerkungen
• Studiengang Physik M.Sc.: Wahlpflichtmodul im Komplex „Experimentelle/Angewandte Physik“ Das Selbstudium setzt sich zusammen aus: • Nacharbeiten der Vorlesung • selbstständiges Erarbeiten englischsprachiger Fachliteratur • Referat Bei Bedarf in englischer Sprache.
Quelle: Modulbeschreibung der BTU · abgerufen 20.10.2026Original