Mikrosysteme
Microsystems
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Inhalte
Begriffe und Arbeitsfelder der Mikrosystemtechnik; Funktions- und Formelemente der Mikromechanik; Wirkprinzipien der Mikrosystemtechnik; Mikrosensoren; Mikroaktoren; Kopplung von Mikrokomponenten mit der Geräteumgebung (mechanisch, thermisch, elektrisch, energetisch); Modellierung und Simulation in der Mikrosystemtechnik; Mikrosystemtechnik als Bindeglied von Mikromechanik und Mikroelektronik; applikative Beispiele Weitere Informationen: http://www.tu-cottbus.de/MST/mstLehre/LVIndex.htm
Lernziele
Vermittlung von Methoden zum Entwurf und der Optimierung von Mikrosystemen; Modellierung; Diskussion der Spezifika, die sich aus der Integration verschiedenster Wirkprinzipien und Werkstoffe ergeben
Prüfungsleistung
Erfolgreiche Teilnahme an allen Übungs/Praktikakomplexen ist Pflicht. (Testate, Protokolle mindestens Note 4) Die Prüfungsleistung besteht aus folgenden Teilleistungen: - ein Testat (10 min) je Komplex (15% -Anteil) - ein Versuchsprotokoll je Komplex als Bericht (15% -Anteil) - mündliche Prüfung (30 min) oder schriftliche Prüfung (90 min) (70%-Anteil)
Literatur (1)
- Gerlach, G.; Dötzel, W.: Grundlagen der Mikrosystemtechnik / Menz, W.; Mohr, J.: Mikrosystemtechnik für Ingenieure / Mescheder, U.: Mikrosystemtechnik - Konzepte und Anwendungen / Eigler, H.: Entwurf signalverarbeitender Mikrosysteme / Heuberger, A.: Mikromechanik / Mohnke, A.: Mikrosystemtechnik
Quelle: Modulbeschreibung der BTU · abgerufen 21.10.2026Original