Physics and Analysis of Thin Films
Physik und Analytik dünner Schichten
4 LPunregelmäßigDEwird nicht mehr angeboten
Voraussetzungen
Empfohlen, im Wortlaut
Kenntnisse der Festkörperphysik im Rahmen eines Bachelor-Studiengangs Physik
Inhalte
• Vakuum, Plasma und Beschichtungstechniken (PVD, CVD, Sputtern, PLD, MBE u. a.) • Strukturuntersuchungstechniken (TEM, REM, XRD, Textur, XRR, HRXRD, RBS u.a.) • Optische und elektrische Untersuchungstechniken (Ellipsometrie, van der Pauw, Hall u.a.) • Schichtanwendungen: Schutzschichten, Hartstoffschichten, dekorative DS, Mikroelektronik u. a.
Lernziele
Die Studierenden beherrschen die Methodik zur Beschreibung von makroskopischen Flüssigkeitsmustern mittels geeigneter Grundgleichungen und vereinfachter Modelle. Am Beispiel der Thematik des Moduls werden die Methoden des Erkenntnisgewinns und deren exemplarischer Anwendung aufgezeigt. Darüber hinaus werden bei den Studierenden Sozialkompetenzen wie Kooperationsfähigkeit, sowie weitere individuelle Kompetenzen wie Sorgfalt, Ausdauer, Neugierde, Eigeninitiative, Frustrationstoleranz etc. gefördert.
Prüfungsleistung
Voraussetzung für die Modulabschlussprüfung: • erfolgreiches Halten eines ReferatsModulabschlussprüfung: • mündliche Prüfung, 30-45 min.
Literatur (1)
- werden zu Beginn des Semester ausgegeben
Bemerkungen
Das Selbststudium setzt sich zusammen aus: • Nacharbeiten der Vorlesung • selbständiges Erarbeiten englischsprachiger Fachliteratur • Erarbeiten eines Referates Bei Bedarf in englischer Sprache. • Studiengang Physik M. Sc.: Wahlpflichtmodul im Vertiefungsfach "Angewandte Physik".
Quelle: Modulbeschreibung der BTU · abgerufen 15.10.2026Original