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Physics and Analysis of Thin Films

Physik und Analytik dünner Schichten

4 CPirregularlyDEno longer offered

Prerequisites

Recommended, as written

Kenntnisse der Festkörperphysik im Rahmen eines Bachelor-Studiengangs Physik

Contents

• Vakuum, Plasma und Beschichtungstechniken (PVD, CVD, Sputtern, PLD, MBE u. a.) • Strukturuntersuchungstechniken (TEM, REM, XRD, Textur, XRR, HRXRD, RBS u.a.) • Optische und elektrische Untersuchungstechniken (Ellipsometrie, van der Pauw, Hall u.a.) • Schichtanwendungen: Schutzschichten, Hartstoffschichten, dekorative DS, Mikroelektronik u. a.

Learning outcomes

Die Studierenden beherrschen die Methodik zur Beschreibung von makroskopischen Flüssigkeitsmustern mittels geeigneter Grundgleichungen und vereinfachter Modelle. Am Beispiel der Thematik des Moduls werden die Methoden des Erkenntnisgewinns und deren exemplarischer Anwendung aufgezeigt. Darüber hinaus werden bei den Studierenden Sozialkompetenzen wie Kooperationsfähigkeit, sowie weitere individuelle Kompetenzen wie Sorgfalt, Ausdauer, Neugierde, Eigeninitiative, Frustrationstoleranz etc. gefördert.

Assessment

Voraussetzung für die Modulabschlussprüfung: • erfolgreiches Halten eines ReferatsModulabschlussprüfung: • mündliche Prüfung, 30-45 min.

Literature (1)
  • werden zu Beginn des Semester ausgegeben

Remarks

Das Selbststudium setzt sich zusammen aus: • Nacharbeiten der Vorlesung • selbständiges Erarbeiten englischsprachiger Fachliteratur • Erarbeiten eines Referates Bei Bedarf in englischer Sprache. • Studiengang Physik M. Sc.: Wahlpflichtmodul im Vertiefungsfach "Angewandte Physik".

Source: BTU's module description · retrieved 15 Oct 2026Original

Module catalogue · unofficial

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Folia 1.0.3Radix 0.6.0

Data as of 21 Oct 2026Winter 2026/27Source: BTU