Physics and Analysis of Thin Films
Physik und Analytik dünner Schichten
4 CPirregularlyDEno longer offered
Prerequisites
Recommended, as written
Kenntnisse der Festkörperphysik im Rahmen eines Bachelor-Studiengangs Physik
Contents
• Vakuum, Plasma und Beschichtungstechniken (PVD, CVD, Sputtern, PLD, MBE u. a.) • Strukturuntersuchungstechniken (TEM, REM, XRD, Textur, XRR, HRXRD, RBS u.a.) • Optische und elektrische Untersuchungstechniken (Ellipsometrie, van der Pauw, Hall u.a.) • Schichtanwendungen: Schutzschichten, Hartstoffschichten, dekorative DS, Mikroelektronik u. a.
Learning outcomes
Die Studierenden beherrschen die Methodik zur Beschreibung von makroskopischen Flüssigkeitsmustern mittels geeigneter Grundgleichungen und vereinfachter Modelle. Am Beispiel der Thematik des Moduls werden die Methoden des Erkenntnisgewinns und deren exemplarischer Anwendung aufgezeigt. Darüber hinaus werden bei den Studierenden Sozialkompetenzen wie Kooperationsfähigkeit, sowie weitere individuelle Kompetenzen wie Sorgfalt, Ausdauer, Neugierde, Eigeninitiative, Frustrationstoleranz etc. gefördert.
Assessment
Voraussetzung für die Modulabschlussprüfung: • erfolgreiches Halten eines ReferatsModulabschlussprüfung: • mündliche Prüfung, 30-45 min.
Literature (1)
- werden zu Beginn des Semester ausgegeben
Remarks
Das Selbststudium setzt sich zusammen aus: • Nacharbeiten der Vorlesung • selbständiges Erarbeiten englischsprachiger Fachliteratur • Erarbeiten eines Referates Bei Bedarf in englischer Sprache. • Studiengang Physik M. Sc.: Wahlpflichtmodul im Vertiefungsfach "Angewandte Physik".
Source: BTU's module description · retrieved 15 Oct 2026Original