Semiconductor Technology
Halbleitertechnologie
6 CPirregularlyDEno longer offered
Prerequisites
Recommended, as written
• Kenntnisse der Halbleiterphysik im Rahmen eines Bachelor-Abschlusses in Physik, insbesondere kenntnisse des Stoffes aus Modul 11868: Allgemeine Physik IV (Festkörperphysik) • Kenntnisse über Funktionsweise und Aufbau elektronischer Bauelemente, etwa Kenntnis des Stoffes von Modul 12364: Elektronische Bauelemente und Grundschaltungen
Contents
• Überblick über die Entwicklung und den Markt der Halbleitertechnologie • Grundgrößen und Zusammenhänge der Halbleiterphysik • Exemplarische Bauelemente auf ICs (Passives, Diode, Bipolar-Transistor, MOS-FET) • Si-Kristallgitter, Kristallzucht, Waferherstellung, Verunreinigung des Si-Basismaterials • Oxidation • Dotierung durch Diffusion und Implantation • Epitaktisches Wachstum von kristallinen Si(Ge) Schichten auf dem Substrat • Strukturierung durch Lithographie, Ätzverfahren • Reinigungs- und Planarisierungstechniken • Si-on-Insulator (SOI) • Ausblick in zukünftige Halbleitertechnologien
Learning outcomes
Die Studierenden beherrschen die Grundlagen der Halbleitertechnologie hinsichtlich physikalischer und technologischer Zusammenhänge. Sie sind in der Lage die Technologieführung zur Fertigung von modernen Halbleiterbauelementen anhand deren physikalischen Aufbau und Funktionsprinzipien zu verstehen. Der Überblick über die Fertigungsverfahren und die technologisch-physikalischen Zusammenhänge ermöglicht den Studierenden eine Bewertung von Halbleitertechnologien hinsichtlich der Eignung für deren Anwendung z.B. in elektronischen Schaltungen. Die zur Vorlesung angebotene Übung ermöglicht den Studierenden durch konkrete und aktuelle Aufgabenstellungen aus der Halbleitertechnologie das erlernte Wissen zu vertiefen und einzusetzen. In diesem Zusammenhang wird Teamarbeit vermittelt und Einblicke in die Arbeitsweise eines führenden Forschungsinstituts gegeben.
Assessment
Voraussetzung für die Modulabschlussprüfung: • erfolgreiches Bearbeiten einer Projektaufgabe inklusive eines AbschlussreferatesModulabschlussprüfung: • mündliche Prüfung, 30-45 min.
Literature (1)
- Werden in der Vorlesung bekannt gegeben.
Remarks
Bei Bedarf kann das Modul in englischer Sprache angeboten werden. • Studiengang Physik M.Sc.: Wahlpflichtmodul im Komplex „Experimentelle/Angewandte Physik“ • Studiengang Elektrotechnik M.Sc.: Wahlpflichtmodul im Komplex „Elektrotechnik“ in den Studienrichtungen „Informationstechnik“ und „Automatisierungstechnik“ • Studiengang Informatik M.Sc.: Wahlpflichtmodul im Anwendungsfach „Maschinenbau/Elektrotechnik“ • Studiengang Informations- und Medientechnik M. Sc.: Wahlpflichtmodul im Komplex „Zuverlässige HW/SW-Systeme“
Source: BTU's module description · retrieved 18 Oct 2026Original