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Physik und Analytik dünner Schichten
Physics and Analysis of Thin Films
4 LPunregelmäßigDEwird nicht mehr angeboten
Voraussetzungen
Empfohlen, im Wortlaut
Vordiplom, BSC
Inhalte
Inhalt/Contents: 1. Vakuum, Plasma und Beschichtungstechniken (PVD, CVD, Sputtern, PLD, MBE u. a.) 2. Strukturuntersuchungstechniken (TEM, REM, XRD, Textur, XRR, HRXRD, RBS u.a.) 3. Optische und elektrische Untersuchungstechniken (Ellipsometrie, van der Pauw, Hall u.a.) 4. Schichtanwendungen: Schutzschichten, Hartstoffschichten, dekorative DS, Mikroelektronik u. a.
Lernziele
Beschreibung von makroskopischen Flüssigkeitsmustern, Grundgleichungen und vereinfachte Modelle
Prüfungsleistung
Mündliche Prüfung
Literatur (1)
- Milton Ohring: Materials Science of Thin Films, Academic Press, 2002 Mario Birkholz: Thin Film Analysis by X-ray Scattering, Wiley-VCH, 2005
Quelle: Modulbeschreibung der BTU · abgerufen 18.10.2026Original