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Physik und Analytik dünner Schichten
Physics and Analysis of Thin Films
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Prerequisites
Recommended, as written
Vordiplom, BSC
Contents
Inhalt/Contents: 1. Vakuum, Plasma und Beschichtungstechniken (PVD, CVD, Sputtern, PLD, MBE u. a.) 2. Strukturuntersuchungstechniken (TEM, REM, XRD, Textur, XRR, HRXRD, RBS u.a.) 3. Optische und elektrische Untersuchungstechniken (Ellipsometrie, van der Pauw, Hall u.a.) 4. Schichtanwendungen: Schutzschichten, Hartstoffschichten, dekorative DS, Mikroelektronik u. a.
Learning outcomes
Beschreibung von makroskopischen Flüssigkeitsmustern, Grundgleichungen und vereinfachte Modelle
Assessment
Mündliche Prüfung
Literature (1)
- Milton Ohring: Materials Science of Thin Films, Academic Press, 2002 Mario Birkholz: Thin Film Analysis by X-ray Scattering, Wiley-VCH, 2005
Source: BTU's module description · retrieved 18 Oct 2026Original