Module

Voraussetzungen

Inhalte

• Einführung in die Siliziumtechnologie: Materialien, Schichtabscheidung und -strukturierung, Oberflächen- und Volumenmikromechanik, Überblick zur Anlagentechnik; • Physikalische Wirkprinzipien: Grundlegende physikalische Wirkprinzipien anhand von einfachen Sensoren und Aktoren (z. B. elektrostatische, piezoelektrische, magnetische Effekte) • Entwurf komplexer Sensoren und Aktoren: Überblick zu Systematik und Methodik, Prinzip der Finite-Elemente-Methode; • Funktionen und Eigenschaften komplexer Sensoren und Aktoren: z. B. Lichtmodulatoren, Beschleunigungssensoren, Gyroskope, Scannerspiegel

Lernziele

Die Studierenden beherrschen die Grundlagen der siliziumbasierten Mikrosystemtechnik. Am Beispiel der Thematik des Moduls werden die Methoden des Erkenntnisgewinns und deren exemplarischer Anwendung aufgezeigt. Darüber hinaus werden bei den Studierenden Sozialkompetenzen wie Kooperationsfähigkeit, sowie weitere individuelle Kompetenzen wie Sorgfalt, Ausdauer, Neugierde, Eigeninitiative, Frustrationstoleranz etc. gefördert.

Prüfungsleistung

Voraussetzung für die Modulabschlussprüfung: • erfolgreiches Halten eines Referats (mit schriftlicher Ausarbeitung)Modulabschlussprüfung: • Klausur, 90 min.

Bemerkungen

Das Selbstudium setzt sich zusammen aus: • Nacharbeiten der Vorlesung • selbstständiges Erarbeiten englischsprachiger Fachliteratur • Referat Die Vorlesung wird gehalten von Dr.-Ing. Harald Schenk (Fraunhofer Institut Photonische Mikrosysteme, Dresden). Bei Bedarf in englischer Sprache. • Studiengang Physik M. Sc.: Wahlpflichtmodul im Vertiefungsfach "Angewandte Physik".