Micro Systems
Mikrosystemtechnik
4 CPWinterDEno longer offered
Prerequisites
Recommended, as written
Kenntnisse der Festkörperphysik im Rahmen eines Bachelor-Studiengangs Physik
Contents
• Einführung in die Siliziumtechnologie: Materialien, Schichtabscheidung und -strukturierung, Oberflächen- und Volumenmikromechanik, Überblick zur Anlagentechnik; • Physikalische Wirkprinzipien: Grundlegende physikalische Wirkprinzipien anhand von einfachen Sensoren und Aktoren (z. B. elektrostatische, piezoelektrische, magnetische Effekte) • Entwurf komplexer Sensoren und Aktoren: Überblick zu Systematik und Methodik, Prinzip der Finite-Elemente-Methode; • Funktionen und Eigenschaften komplexer Sensoren und Aktoren: z. B. Lichtmodulatoren, Beschleunigungssensoren, Gyroskope, Scannerspiegel
Learning outcomes
Die Studierenden beherrschen die Grundlagen der siliziumbasierten Mikrosystemtechnik. Am Beispiel der Thematik des Moduls werden die Methoden des Erkenntnisgewinns und deren exemplarischer Anwendung aufgezeigt. Darüber hinaus werden bei den Studierenden Sozialkompetenzen wie Kooperationsfähigkeit, sowie weitere individuelle Kompetenzen wie Sorgfalt, Ausdauer, Neugierde, Eigeninitiative, Frustrationstoleranz etc. gefördert.
Assessment
Voraussetzung für die Modulabschlussprüfung: • erfolgreiches Halten eines Referats (mit schriftlicher Ausarbeitung)Modulabschlussprüfung: • Klausur, 90 min.
Literature (2)
- M. Madou, "Fundamentals of Microfabrication„, CRC Press , Boca Raton-NewYork (2002)
- Gianchandani, Yogesh B.; Tabata, Osamu; Zappe, Hans P.: „Comprehensive Microsystems“, Vol. 1-3, Elsevier, Amsterdam (2008)
Remarks
Das Selbstudium setzt sich zusammen aus: • Nacharbeiten der Vorlesung • selbstständiges Erarbeiten englischsprachiger Fachliteratur • Referat Die Vorlesung wird gehalten von Dr.-Ing. Harald Schenk (Fraunhofer Institut Photonische Mikrosysteme, Dresden). Bei Bedarf in englischer Sprache. • Studiengang Physik M. Sc.: Wahlpflichtmodul im Vertiefungsfach "Angewandte Physik".
Source: BTU's module description · retrieved 16 Oct 2026Original